《GB/T 4937.13-2018 半導(dǎo)體器件 機械和氣候試驗方法 第13部分：鹽霧》是中國國家標(biāo)準(zhǔn)化委員會發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)，用于評估半導(dǎo)體器件在鹽霧環(huán)境下的耐蝕性和可靠性。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鹽霧試驗的方法和要求。

一、范圍：
GB/T 4937的本部分規(guī)定了半導(dǎo)體器件的鹽霧試驗方法，以確定半導(dǎo)體器件耐腐蝕的能力。本試驗是模擬嚴(yán)酷的海邊大氣對器件暴露表面影響的加速試驗。適用于工作在海上和沿海地區(qū)的器件。
本試驗是破壞性試驗。
本試驗總體上符合IEC 60068-2-11，但鑒于半導(dǎo)體器件的特殊要求，采用本部分的條款。

二、試驗項目：
鹽霧試驗。

三、試驗設(shè)備：
鹽霧試驗箱。

四、設(shè)備廠商：
環(huán)儀儀器

五、試驗程序（部分）：

按要求預(yù)處理之后，試驗樣品應(yīng)按如下方式放置在試驗箱里，使它們彼此不接觸，彼此不斌擋，能自由地接受鹽霧作用，腐蝕生成物和凝聚物不會從一個樣品滴落在另一個樣品上。試驗箱中噴霧的保持時間應(yīng)按4.2試驗條件的要求執(zhí)行。
試驗期間，試驗箱內(nèi)的溫度應(yīng)保持在(35±2)℃，鹽霧的濃度和噴出速度應(yīng)調(diào)節(jié)到使試驗區(qū)域內(nèi)鹽沉降率為(30±10)g/(m²·d)。在不低于35℃測量時，鹽溶液的pH值應(yīng)在6.0～7.5之間[只能用化學(xué)純(CP級)的鹽酸或氫氧化鈉(稀溶液)來調(diào)整pH值]。

《GB/T 4937.13-2018》標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了試驗裝置、試驗樣品的選擇和準(zhǔn)備、試驗條件、試驗過程和評定方法等方面的要求。通過該標(biāo)準(zhǔn)進行的鹽霧試驗可以幫助制造商和使用者了解半導(dǎo)體器件在鹽霧環(huán)境下的可靠性表現(xiàn)，指導(dǎo)產(chǎn)品設(shè)計和改進工藝。